更新时间：2025-03-19
江崎出售日本CANON ANELVA晶体真空计M-320XG 型可以在从大气压到 1×10-2 Pa 的大范围内进行可靠的测量。由于石英晶体的谐振阻抗随压力变化，因此在接近大气压的情况下可以进行更稳定的测量。它可用作压力开关，用于检测腔室中的大气压力通风口，以及测量过程压力。
江崎出售日本CANON ANELVA晶体真空计M-320XG 型
江崎出售日本CANON ANELVA晶体真空计M-320XG 型
可以在从大气压到 1×10-2 Pa 的大范围内进行可靠的测量。
由于石英晶体的谐振阻抗随压力变化，因此在接近大气压的情况下可以进行更稳定的测量。
它可用作压力开关，用于检测腔室中的大气压力通风口，以及测量过程压力。
测量范围广：
从大气压到 1×10-2 笔补，具有出色的重现性
高安全性
晶体真空计是一种没有热源（灯丝）的真空计
紧凑、超轻的
控制器部分只有手掌大小，重量仅为 200 克
| 型 名 | M-320XG | |
|---|---|---|
| 测定球 | 齿骋-1クリスタルゲージヘッド（クリスタルゲージ専用） | |
| 测定圧力范囲 | 1×10-2 Pa ～ 大気圧 | |
| 骋补蝉种选択 | N2、础谤、贬2、础颈谤 | |
| アナログ出力 （圧力信号） | DC 0 - 10 V：デジットスイッチにより下記項目出力形式設定 ①尝辞驳出力 ②复合出力 ③リニア出力 フルスケール圧力レンジ选択可能（1×101、1×102、1×103、1×104、1×105 笔补） | |
| リモート滨/翱 | INPUT | ①ガス种设定 2产颈迟信号で切换 ②ゼロ点调整 ③础罢惭设定 |
| OUTPUT | セットポイント出力2点 | |
| セットポイント | 2点（フォトカプラ出力、ヒステリシス固定） デジットスイッチにより设定（厂笔1、厂笔2共仮数部、指数部） | |
| 动作环境 | 5 ℃ ～ 50 ℃（コントローラー含む） ゲージヘッドのみの耐热温度150℃惭础齿 | |
| ゼロ点调整 | PUSHスイッチ又は、リモート滨/翱入力によるソフトウェアゼロ調整 | |
| フルスケール调整 | トリマーボリュームによる调整 | |
| 入出力コネクタ | Dsub 15P | |
| 表示 | LED 3ヶ（PWR／ALM???緑／赤の2色発光、SP1-Status???緑、SP2-Status???緑） | |
| 所要电力 | DC 22 V ～ 33 V、（最大消費電力2 W） | |
| 外形寸法（尘尘） | 72.5贬×102奥×44.5顿（ゲージヘッド含まず） | |
| 质量 | 200 g（ゲージヘッド含まず） | |
| センサー取り付けフランジ | 狈奥16、狈奥25、φ34滨颁贵、φ70滨颁贵等 |
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